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谈谈怎样分辨半导体干式大理真空泵的类型

来源:http://dali.ynbhjd.cn/news793086.html  发布时间: 2022-4-14 17:29:00

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现在有好几种不同类型的干式大理真空泵被设计生产出来,在机械结构设计上有明显的差异,可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式,其中前三种被称为多级泵。它们的工作方式是差不多一样的,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。以下是不同类型泵的一些探讨。


一、干式真空泵类型

1、双圆裂片式

双圆裂片式设计和目前较流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

2、三叶圆裂片式

三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

3、组合式(罗茨+爪)

组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其后面一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

4、外部压缩型螺杆式

在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到较小的范围,同时使得气体通路较短也较简单。这样,气体在泵体内停留的时间也较短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

如果用户认为耗电量方面的问题,内部压缩型螺杆式可以一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变宋处理各种不同的半导体工艺,而使你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你比较好的选择。

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